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楔形镜中微楔形镜的技术研究分析

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楔形镜中微楔形镜的技术研究分析

发布日期:2017-03-25 作者: 点击:

楔形镜中微楔形镜的技术研究分析

微楔形镜的加工不能像平行平面元件那样,采用大块抛光,切片分割的办法.针对零件尺寸小、精度要求高的特点,研究了加工过程中的粘结上盘、面形精度控制和 楔形角检测等技术,设计了吸附式粘结上盘和楔形角测量等专用装置,应用于尺寸为3×3×1mm(6°)的Nd:YVO4(掺钕钒酸钇)晶体批量生产中,提 高了零件的面形精度和加工可靠性.测试结果表明:面形精度优于λ/10(λ=632.8nm),表面光洁度达0/0级,楔形角合格率达98%以上.

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